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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。如图464所示，当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是，该变化比直线稍慢。这是因为，在旋转速度下，P较大的气体具有较大的速度比，因此叶片的Hoe系数较大，但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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超高真空互联装置需要在超高真空环境中进行,对真空度要求及其高,真空可达1E-10mbar,一般需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,涡轮分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80,,700,1200广泛应用于超高真空互联装置中!

超高真空互联系统会以ARPES,STM,MBE,UPS,XPS的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.ARPES角分辨光电子能谱,利用光电效应研究固体的电子结构,当一束光照射在样品表面,当入射光频率高于特定阈值(功函数)时,表面附近的电子会脱离样品,成为自由电子,这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中,被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.

某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规。

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没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。

该系统在停机前，要先关闭前级管路阀，然后切断分子泵电源和关闭冷却水。等分子泵转速下降到额定工作转速的一半时，再在泵的入口处充入干燥气体，当系统充到大气压力后，应关闭放气阀门。根据需要在前级阀关闭后的任何时候停掉前级泵系统。

涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD

脉冲激光沉积PulsedLaserDeition,PLD,是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段.PLD系统由多个真空腔体组成,整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空.由于各个辅助腔体体积较小,因此特别适合使用Hicube系列分子泵组.分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油（前级泵配备干泵),抽速快,极限真空度高达10-11mbar等优点广泛应用于此设备.

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